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低释气库板

发布日期:2021-12-03    浏览次数:84
鉴于国内半导体不断往纳米微小化发展,洁净车间对环境中气态分子污染的要求不断提高,低释气材料的适当替代遂成为建厂过程中的重要工程关键考虑。
为能更有效掌握质量与交货期,公司于2018年在新兴企业研发立项的专用资金支持下,展开低释气库板开发,成功通ASTM测试,于2019年完成低释气库板开发 。和已实际投入的工程改造高端浸润式曝光机洁净车间,高端半导体光阻生产车间等,获得客户广泛认可。
 
 

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