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生产机台内气流交叉污染与洁净分析与诊断咨询服务

发布日期:2017-12-22    浏览次数:149
透过专业技术人员于现场的勘查、量测,可以将实际的生产机台以计算机模型呈现,并提供流体与污染物扩散计算分析,搭配专业技术人员的洁净设计概念,就可以协助业主判断生产机台内交叉污染或洁净污染来源,并可以利用计算机模型进行改善方案的优化设计。为客户处理生产机台内交叉污染与洁净度问题的困扰。
我们曾经处理过的生产机台有:半导体厂的8”黄光区SMIF洁净度改善、
CMP、炉管、RCA Cleaner、Stripper及G6 TFT黄光Vacuum Dryer等机台。
 

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